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真空離子鍍定義

關鍵詞 離子鍍|2011-06-29 14:06:34|基礎知識|來源 中國磨料磨具網
摘要 在一定的真空狀態下，將從蒸發源蒸發的粒子部分地離子化，并和其余的中性粒子一起沉積在基體上而形成鍍層的技術，稱為真空離子鍍，簡稱離子鍍。也可稱為真空離子蒸鍍。
　　在一定的真空狀態下，將從蒸發源蒸發的粒子部分地離子化，并和其余的中性粒子一起沉積在基體上而形成鍍層的技術，稱為真空離子鍍，簡稱離子鍍。也可稱為真空離子蒸鍍。
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真空離子鍍過程包含如下四個要點

1．在一定的真空條件下進行。2．成膜材料蒸發。可以采用真空蒸鍍相同的蒸發方法，還可以采用空心陰極型電子束法和真空電弧法。3．蒸發的成膜材料部分電離。電離方式，可以利用惰性氣體等離子體（例如直流輝光放電法，空心陰極法）...

日期 2011-06-29   制造技術
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